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氣動隔膜閥的工作原理及特點說明

發布時間:2024-12-21 人氣:1321

氣動隔膜閥是由空氣動力驅動的開關,具有快速、安全、可靠、維護方便等優點。廣泛應用于半導體行業的各種工藝氣體、液體、真空等管道。本文將詳細介紹氣動隔膜閥在半導體行業的工作原理、特點和應用。

一、氣動隔膜閥的工作原理

氣動隔膜閥主要由閥體、閥板、隔膜和傳動機構組成。當空氣壓力作用于隔膜時,隔膜會變形,從而驅動閥板移動并實現開關操作。氣動隔膜閥有兩種驅動方式:氣動開關閥和氣動關閉閥,可根據實際需要選擇。

氣動隔膜閥的結構特點是將一組薄的半球形金屬薄膜夾在閥體內,作為閥桿與流體之間的屏障。閥門關閉是通過閥桿頭和金屬薄膜將閥盤壓在閥座上來實現的。閥門通過內部彈簧打開。當閥桿升起并與薄膜接觸時,閥盤升起。由于閥門的行程等于薄膜的行程,因此該閥門的特性升程遠小于普通閥門。

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二、氣動隔膜閥的特點

1、結構簡單:氣動隔膜閥結構緊湊,體積小,安裝維護方便。

2、密封性能好:膜與閥板之間的密封采用軟密封結構,密封性能好,能有效防止氣液泄漏。

3、動作靈敏:氣動隔膜閥的驅動機構采用氣動模式,動作靈敏,可實現快速開關。

4、適用范圍廣:氣動隔膜閥適用于各種工藝氣體、液體、真空等管道,應用范圍廣。

5、高安全性:氣動隔膜閥采用隔膜作為密封件,可有效避免材料卡住或粘結,提高設備安全性。

6、維護方便:氣動隔膜閥的維護非常方便,只需定期清洗和更換隔膜即可。

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