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氣動(dòng)隔膜閥的工作原理及特點(diǎn)說(shuō)明

發(fā)布時(shí)間:2024-12-21 人氣:1321

氣動(dòng)隔膜閥是由空氣動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的開(kāi)關(guān),具有快速、安全、可靠、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種工藝氣體、液體、真空等管道。本文將詳細(xì)介紹氣動(dòng)隔膜閥在半導(dǎo)體行業(yè)的工作原理、特點(diǎn)和應(yīng)用。

一、氣動(dòng)隔膜閥的工作原理

氣動(dòng)隔膜閥主要由閥體、閥板、隔膜和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)組成。當(dāng)空氣壓力作用于隔膜時(shí),隔膜會(huì)變形,從而驅(qū)動(dòng)閥板移動(dòng)并實(shí)現(xiàn)開(kāi)關(guān)操作。氣動(dòng)隔膜閥有兩種驅(qū)動(dòng)方式:氣動(dòng)開(kāi)關(guān)閥和氣動(dòng)關(guān)閉閥,可根據(jù)實(shí)際需要選擇。

氣動(dòng)隔膜閥的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是將一組薄的半球形金屬薄膜夾在閥體內(nèi),作為閥桿與流體之間的屏障。閥門關(guān)閉是通過(guò)閥桿頭和金屬薄膜將閥盤壓在閥座上來(lái)實(shí)現(xiàn)的。閥門通過(guò)內(nèi)部彈簧打開(kāi)。當(dāng)閥桿升起并與薄膜接觸時(shí),閥盤升起。由于閥門的行程等于薄膜的行程,因此該閥門的特性升程遠(yuǎn)小于普通閥門。

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二、氣動(dòng)隔膜閥的特點(diǎn)

1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單:氣動(dòng)隔膜閥結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,安裝維護(hù)方便。

2、密封性能好:膜與閥板之間的密封采用軟密封結(jié)構(gòu),密封性能好,能有效防止氣液泄漏。

3、動(dòng)作靈敏:氣動(dòng)隔膜閥的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用氣動(dòng)模式,動(dòng)作靈敏,可實(shí)現(xiàn)快速開(kāi)關(guān)。

4、適用范圍廣:氣動(dòng)隔膜閥適用于各種工藝氣體、液體、真空等管道,應(yīng)用范圍廣。

5、高安全性:氣動(dòng)隔膜閥采用隔膜作為密封件,可有效避免材料卡住或粘結(jié),提高設(shè)備安全性。

6、維護(hù)方便:氣動(dòng)隔膜閥的維護(hù)非常方便,只需定期清洗和更換隔膜即可。

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